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SPS旋涂儀是高品質(zhì)、全NPP POLOS單晶片，專為MEMS、半導(dǎo)體、PV、微流體領(lǐng)域等領(lǐng)域的研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)。適用于所有典型的旋涂。工藝：清潔、沖洗/...
勻膠機(jī)是高品質(zhì)、全NPP POLOS單晶片，為MEMS、半導(dǎo)體、PV、微流體域等域的研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)。適用于所有典型的旋涂。工藝：清潔、沖洗/干燥、涂層、...
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